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高純氣體

超高純氬氣

文字：[大][中][小] 手機頁面二維碼 2014-10-27     瀏覽次數：    

    在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

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